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普洛帝PMT-2電子級超純水顆粒管控解決方案

來源:陜西普洛帝測控技術有限公司   2023年06月29日 14:55  

普洛帝PMT-2電子級超純水顆粒管控解決方案

什么是超純水?

超純水是指電阻率達到18MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

什么是電子級超純水?

集成電路的生產,幾乎每道工序都需要超純水進行清洗,工件與水直接接觸,而一方面芯片在加工過程中的微量玷污得到清洗,而另一方面純水中的微量雜質又可能使芯片再污染,無疑對產品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進一步提高,對水中污染物要求亦將更為嚴格,從六十年代末期,美國五家公司提出的集成電路用純水的水質指標以來,集成電路每前進一代,雜質都要減少1/2-1/10。美國材料實驗學會(ASTM)1983、1990年頒發的電子級水質標準,已不能適應超大規模集成電路迅速發展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質指標。

電子級超純水的顆粒管控解決新方案

電子級超純水的要求,就需要一款具備顆粒管控功能的儀器對超純水的水質進行管控。對電子級超純水里粒子的大小和數量的多少進行監控,進而判定電子級超純水的級別和潔凈度。普洛帝自主研發生產的PMT-2液體顆粒計數器,集成款專門是針對電子級超純水顆粒進行管控的儀器。儀器主機將取樣系統、檢測系統和顯示操作系統集成到一體,一臺儀器就可以完成實時、在線、不間斷的顆粒監測。是超純水制備集成商,超純水應用商,超純水清洗產線的顆粒監控儀器。

PMT-2,液體顆粒計數器,采用英國普洛帝核心技術創新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統,可以對清洗劑、半導體、超純水、電子產品、平板玻璃、硅晶片等產品的在線或離線顆粒監測和分析,目前是英國普洛帝分析測試集團向水質領域及微納米檢測領域的重要產品。

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