從硅片到電池片，看看等離子清洗技術如何用？

硅基光伏電池片制程

從硅片到電池片：

從目前主流的單晶硅PERC電池制作流程為例，從硅片到電池片大概要經歷：

清洗制絨→擴散制結→刻蝕&去磷硅玻璃→PECVD→印刷電極&燒結→分選測試/檢驗入庫等，而在清洗、制絨、刻蝕、PECVD等環節，均可使用晟鼎等離子清洗機，下面我們來看具體的應用。

等離子在電池片工藝中的應用

01清洗與制絨

在清洗與制絨工藝環節，一般是用堿性或酸性腐蝕液進行濕式化學清洗，制絨效果不僅受多因素影響，且多孔硅結構松散不穩定，具有較高表面復合率。

等離子清洗機處理方案：

使用等離子體的高速粒子轟擊電池片表面，可將絨面處理的更加細致有序，表面結構也更加穩定，減少復合中心的產生；還可同時清除材料表面的指紋油污，減少濕式處理的烘干環節。

02刻蝕&去磷硅玻璃

在上道擴散工序中，PN結的正面所收集到的光生電子會沿著邊緣擴散有磷的區域流到pn結的背面，從而造成短路。因此，必須對太陽能電池周邊的摻雜硅進行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結。

通常采用等離子刻蝕技術完成這一工藝。等離子體可以通過粒子吹掃將多余擴散的磷分解，從而達到去除PSG的目的。

03 PECVD

為了減少表面反射，提高電池的轉換效率，需要沉積一層氮化硅減反射膜。

工業生產中常采用PECVD設備制備減反射膜，PECVD即等離子增強型化學氣相沉積，它是利用低溫等離子體作能量源，產品置于低氣壓下輝光放電的陰級上，利用輝光放電使產品升溫到預定的溫度，然后通過適量的反應氣體SiH4和NH3，氣體經一系列化學反應和等離子體反應，在產品表面形成固態薄膜即氮化硅薄膜。

晟鼎等離子清洗機

適用于光伏玻璃、電池片、背板、框架等部件的清洗活化，可搭配直噴或旋轉槍頭，可定制大氣等離子流水線設備。

適用于光伏玻璃、電池片、背板、框架等部件的清洗活化，可客制化寬幅線性等離子流水線設備。

適用于面積大、形狀復雜的材料清洗，可搭配多路工藝氣體，可客制化真空等離子流水線設備。

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