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爾迪介紹|臺階樣板及光柵樣板介紹

來源:上海爾迪儀器科技有限公司   2023年05月12日 17:12  

一、臺階樣板

該類樣板主要用來校準臺階儀、光學輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺階高度測量儀器。

臺階高度范圍:10nm~100μm;

臺階區域表面粗糙度Sa:優于5.0nm;

臺階區域均勻性:優于15nm;

臺階樣片尺寸:10mm×10mm。

序號

臺階標稱高度

1

10nm

2

20nm

3

30nm

4

50nm

5

100nm

6

200nm

7

500nm

8

1000nm

9

2μm

10

5μm

11

10μm

12

20μm

13

50μm

14

100μm

 

二、光柵樣板

該類樣板主要用來校準掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。

樣片類型:一維光柵、二維柵格

區域均勻性:優于15nm

尺寸范圍:100nm10μm(一維光柵)、2μm10μm(二維柵格)

線條直線度:優于10nm

 

類型

具體結構

復合型光柵樣板

包含一維結構:100nm200nm500nm1μm2μm5μm10μm

二維結構:2μm5μm10μm

微米級光柵樣板

包含一維、二維光柵結構

結構尺寸:2μm5μm10μm

 


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