壓電比例閥利用壓電元件與半導體傳感器,通過 對電氣比例信號的調節,可高精度、高響應、無 噪音的對氣體的壓力與流量進行無級控制。 壓電比例閥利用壓電元件與半導體傳感器,通過 對電氣比例信號的調節,可高精度、高響應、無 噪音的對氣體的壓力與流量進行
特征
FEATURES
1、高精度氣體控制
2、低溫漂特性
3、反應靈敏,響應時間在0.7s以內
4、不限定氣體種類(采用流量轉換系數,以N2校準為基準、可對應各種氣體)
5、高精度特氣測控技術
6、安裝方向任意(可自由安裝)
原理圖如下:
選型目錄:
元級控制。
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