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大氣壓力傳感器的應用及原理

來源:深圳市億杰儀表有限公司   2023年03月22日 16:22  
大氣壓力傳感器除被廣泛應用在氣象監測中外,還被應用在很多方面:如將其安裝在無人機上,可以通過無人機的周圍氣壓與遙控器氣壓的對比,從而得知無人機和控制人員的高度差,幫助無人機更好的進行著陸;將其應用在智能手機、智能手表,智能手環等消費電子產品中可發揮更多的作用,還用來測量準確的高度位置、改善室內導航,熱量計算以及許多其它的應用。
大氣壓力傳感器與半導體壓敏電阻壓力傳感器的制作原理類似,也是采用集成電路與微加工技術,在一塊半導體基片(硅片)上形成壓力傳感器、溫度補償電路和放大電路。
在硅片的中間,從反面經異向腐蝕形成了一個正方形的膜片(利用膜片將壓力變換成應力),在膜片的表面,通過擴散雜質形成4個P型的測量電阻,以惠斯頓電橋方式連接,利用膜片的壓阻效應(將加在膜片上的壓力變換成電阻的變化),在兩個輸出端子之間輸出一定的電位差。
膜片的里面與硅杯之間設計成真空腔,用于緩和外部的應力,并以此真空腔的壓力為基準來測量大氣壓力。

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