臭氧檢測儀的檢測原理有半導體原理（英國E2V）、電化學檢測原理、紫外光法原理等。這里主要來介紹的是第三種方法，即紫外光法。我們知道地球大氣層上有一層臭氧層，科學家們已經發現臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有最大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特——比爾定律。該方法已被美國等國家作為臭氧標準分析方法。該臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。濃度計算，臭氧濃度數學模型是根據Lambert and Beer定律推出的。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們就可以計算出臭氧濃度大小。由于，臭氧吸收池的距離的限制，最大臭氧濃度只能測到300 O3 g/m。