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等離子體處理儀電源完整性應注意電容特性：
在實際工作中，正確使用電容進行電源退耦，必須了解電容的頻率特性。實際上并沒有理想的電容，這就是為什么人們常常聽到“電容不僅僅是電容”。實用型電容器總有一些寄生參數，它們在低頻時表現得不明顯，但在高頻時，它們的重要性可能超過了容值本身。由磁場能量變化的視點可以很容易理解，當電流發生變化時，磁場能量也會發生變化，但能量躍升是不可能的，體現了電感的特性。寄生電感可延遲電容電流的改變，增加電感可增加電容充放電阻抗，延長了電源完整性反應時間。當頻率高于諧振頻率時，自共振頻率點是區分電容與諧振的兼容性還是感性分界點，“電容不再是電容”因此退耦效果會降低。與等效串聯電感相關的電容與生產工藝流程、封裝規模有關，通常小封裝的等效串聯電感較低，寬體封裝的等效串聯電感較窄體封裝的高。將一些大的電容放在電路板上，一般是坦電容或電解電容。這種電容具有很低的ESL，但ESR很高，因此Q值很低，實用頻率范圍很寬，非常適用于板級電源濾波。質量因數越高，電路在電感或電容上的電壓就越高，附加電壓就越多。在一定頻偏下，Q值越高，電流衰減越快，諧振曲線越尖銳。換句話說，電路的挑選性是由電路的Q元素決定的，電源完整性Q值越高，挑選性越好。
等離子體處理儀電源完整性部分的解耦規劃方法為了保證邏輯電路正常工作，有必要表示電路邏輯狀態的電平值以一定的比例下降。例如，對于3.3V邏輯，高電壓大于2V是邏輯1，低電壓小于0.8V是邏輯0。將電容置于鄰近器件上，并跨接于電源插頭與地插頭之間。一般情況下，電容充電，儲存部分電量。等離子體處理儀電源功率整流器不需要VCC來供給電路轉換所需的瞬態電流，電容相當于一小塊電源。因此，等離子體處理儀電源和地端的寄生電感都被繞道掉了，在這一段時間內，寄生電感沒有電流流過，因此也不存在感應電壓。通常將兩個或多個電容平行放置，以減小電容本身的串聯電感，從而降低電容充放電回路的阻抗。注意：電容的放置，設備間隔，設備方式，電容選擇。
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