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ICP-MS先有的是概念，1970 年繼 ICP-AES 技術快速發展之后，研究者們產生對下一代多元素分析儀器系統的迫切需求。比如對地球化學分析來說，基體問題很嚴重；在發射光譜中，強的多譜線的主要基體元素如 Ca、Al 和 Fe 的測量，而對痕量元素來說，選擇無干擾的譜線很困難。再比如，地質勘查中人們感興趣的元素，主要集中在具有復雜光譜且在發射光譜中檢出限較差的稀有重金屬元素。
有了需求后，多國科學家進行技術合作，克服了種種難題，終于在1980年發表了一篇ICP-MS的可行性文章，1983-1984年，兩家儀器公司推出了商品化的ICP-MS。一臺是由英國 VG 同位素有限公司生產的基于 Surrey 系統的 Plasma Quad，現在進化為賽默飛的iCAP Q；另一臺是由加拿大 SCIEX 公司生產的基于 Toronto 研究小組的工作的 Elan，現在進化為PerkinElmer的NexION。
ICP-MS的優點是：可分析幾乎地球上所有元素(Li-U)，靈敏度高/檢出限低，速度快，精密度高，動態線性范圍極寬，干擾少，可提供較高準確度的同位素信息，而且可以和液相色譜(LC)、離子色譜(IC)、氣相色譜(GC)、流動注射(FIA)、激光燒蝕(LA)等聯用，可做形態分析。
相比其它原子光譜，ICP-MS的缺點是：對高基體的樣品適應差一點，對操作者的要求高一些，價格貴。另外，由于在ICP階段產生了多原子離子的干擾，所以是否能有效去除干擾離子也是ICP-MS的一大挑戰(同原子光譜用各種手段去除光譜干擾的考慮類似)。
所以，一臺好的商品化ICP-MS，至少要具備前面ICP-MS應有的優點；另外，還需在解決上述挑戰方面有所建樹。
從1983年一臺商品化ICP-MS問世，中國就一直從國外進口該類儀器；但歐美卻一直對中國限制進口，故以前中國的ICP-MS國標不多。2012年，ICP-MS推出29年后，天瑞儀器推出一臺商品化ICP-MS，大大加速了國標中使用四極桿ICP-MS的進程；這讓人們認為中國被壓抑多年的ICP-MS采購需求會被快速釋放，除安捷倫、賽默飛、PerkinElmer、耶拿外，2015年后，國產又有天瑞儀器、 聚光科技、鋼研納克、普析、美析；2016的市場競爭將異常激烈。
近年來傳統單四極桿ICP-MS設計的趨勢是：引入碰撞池/反應池技術降低干擾；離子源采用離軸技術降低中性粒子干擾，進一步提高分析物靈敏度；降低氣體消耗量；設計儀器的硬件軟件，讓其更容易使用和維護。
近年來的技術和應用進展如：安捷倫推出世界電感耦合等離子串聯質譜系統8800；富魯達的CyTOF打入了生命科學單細胞分析的領域；近各ICP-MS在納米顆粒分析、金屬組學、色譜和ICP-MS聯用中也頗受垂青。
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