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當離心泵葉輪入口處的液體壓力降至輸送液體溫度下的飽和蒸汽壓時，液體就汽化；同時還可能有溶解在液體內的氣體從液體中逸出，形成大量小汽泡。當這些小汽泡隨液體流到葉輪流道內壓力高于臨界值的區域時，由于汽泡內是汽化壓力，而外面的液體壓力高于汽化壓力，則小汽泡在四周液體壓力作用下，便會重新凝結、潰滅。
在葉輪內，當產生的小汽泡重新凝結、潰滅后，好似形成了一個空穴，這時周圍的液體以的速度向這個空穴沖來，液體質點互相撞擊形成局部水力沖擊，使局部壓力可達數百大氣壓。汽泡越大，其凝結潰滅時引起的局部水擊壓強越大。如果這些汽泡是在葉輪金屬表面附近潰滅，則液體質點就像無數小彈頭一樣，連續打擊在金屬表面上。這種水力沖擊，速度很快，頻率可達2500次/s，會使材料的表面逐漸疲勞損壞，引起金屬表面的剝蝕，進而出現大小蜂窩狀蝕洞。若產生的汽泡內還夾雜有某種活性氣體（如氧氣等），它們借助汽泡凝結時放出的熱量，使局部溫升可達200-300℃，會對金屬起電化學腐蝕，更加快了金屬的破壞程度。上述這種氣體的汽化、凝結、沖擊和對金屬剝蝕得綜合現象就稱為汽蝕。汽蝕過程的不穩定，引起泵發生振動和噪音，同時由于汽蝕時汽泡堵塞葉輪槽道，所以此時流量、揚程均降低，效率下降，嚴重時不能正常工作，因此離心泵在工作中，一定要防止汽蝕現象的發生。一旦發生汽蝕要立即停泵，關進口閥，泵放空，重新灌注泵。確信泵充滿液體，然后再啟動。
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