一、燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。
二、應用原理:為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進行,燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行精確的控制。
三、分類:
(1)推桿式燒結爐,是將壓坯裝于燒舟中或墊塊上,用機械(或手動)傳動,推進爐內進行燒結。根據推舟是連續的還是間歇的,這種爐子又分為連續推進式和間歇推進式兩種。
(2)網帶爐,網帶爐由驅動裝置,燒除區,燒結區,冷卻區(水套冷卻式),進、卸料裝置,加熱裝置,各種配管及電氣、測試裝置組成。
(3)鐘罩式加壓燒結爐,用于生產粉末冶金摩擦片的專用燒結爐。在燒結中可施加壓力,以使摩擦片快速、有效地與基板粘結。
(4)真空燒結爐內部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結區。加熱形式有電熱元件(如碳管、碳棒)加熱、中頻感應加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻,可向爐內通入氫、氮、氬等氣體。
四、燒結爐特點:
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保證爐內保護氣氛暢通。
(3)爐內的各段溫度可控,燒結氣氛可調。
(4)具有快速冷卻裝置,可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。
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