手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
微流控芯片的光刻工藝：
光刻是用光刻膠、掩模和紫外光進行微制造，工藝如下：
（a）仔細地將基片洗凈；
（b）在干凈的基片表面鍍上一層阻擋層，例如鉻、二氧化硅、氮化硅等；
（c）再用甩膠機在阻擋層上均勻地甩上一層幾百A厚的光敏材料——光刻膠。光刻膠的實際厚度與它的粘度有關，并與甩膠機的旋轉速度的平方根成反比；
（d）在光掩模上制備所需的通道圖案。將光掩模復蓋在基片上，用紫外光照射涂有光刻膠的基片，光刻膠發生光化學反應；
（e）用光刻膠配套顯影液通過顯影的化學方法除去經曝光的光刻膠。這樣，可用制版的方法將底片上的二維幾何圖形精確地復制到光刻膠層上；
（f）烘干后，利用未曝光的光刻膠的保護作用，采用化學腐蝕的方法在阻擋層上精確腐蝕出底片上平面二維圖形。
微流控芯片的產品特點：
提供真空環境，提高成功率
采用真空熱壓系統，可根據不同材料、不同芯片通道寬度、深度設定壓力、溫度、時間，以達到熱壓及鍵合要求。
控溫準確，面內熱分布均勻
設備使用恒溫控制加熱技術，實現溫度精確控制；鋁合金工作平臺，上下面平整，熱導速度快、熱導均一。
適用于多種尺寸芯片加工，實驗成本低
設備加熱鍵合面積大，涵蓋常用尺寸的微流控芯片。
參數精準可調
該設備可針對不同材料設置鍵合溫度、壓力與真空度，精準低偏差。
操作靈活簡單，上手快
工作平臺操作方式為上下芯片手工對準貼合，自動加壓鍵合。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心