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拉曼光譜 是一種應用范圍廣泛的分析手段，在環境、安檢、檢驗檢疫、地質、物理、化學等領域都有應用，共振拉曼、面增強拉曼等拉曼技術的發展使得對拉曼的需求越來越大，但是由于拉曼光譜儀種類繁多，技術指標沒有統一的標準，所以在選購拉曼光譜儀的時候，除了自己樣品的試驗結果以外，還要關注儀器的以下幾個性能，一定是廠家在相同的實驗條件下所做的實驗結果，不然沒有可比性。
1、單晶硅的三階峰：
樣品：單晶硅。實驗條件：激發光：514.5納米或者532納米，激光輸出功率：20毫瓦，狹縫或針孔：50微米。
采集時間，300秒或60秒累加5次。物鏡：50倍或100倍短焦，光柵：1800線。
掃描波長：1100波數到2500波數。要求硅在1440波數左右的三階峰的信噪比在10：1以上(信號是1440峰的高度，噪音是測量拉曼信號時的那些亂七八糟的毛刺)，越高越好。
2、光譜分辨率，信號源：
氖燈，實驗條件：狹縫或針孔：20微米，光柵：1800線，用+1級衍射，測量氖燈的575納米的發射線。各個廠家的配置不盡相同，用戶可根據自己的需要選擇。
3、光譜重復性：
樣品：單晶硅，在可測的拉曼光譜范圍內，通過轉動光柵來對單晶硅的拉曼光譜全范圍進行掃描，一般為100-4000波數，觀察單晶硅的520波數的拉曼峰，重復測量30次以上，一般要求重復性在±0.2波數以內，越低越好。
4、濾光片的激光阻擋水平和低波數：與選擇的濾光片的種類有關。
5、其他指標，例如XYZ自動樣品臺的重復性，利用自動樣品臺測空間分辨率，CCD的暗噪聲，全波段的光譜響應，激光器的等離子線測量等等，不是重要指標，不再詳細說明。
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