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同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結露。本安型露點儀采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結露時的溫度，直接顯示露點。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷高效率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前國際上精度達到±0.1℃（露點溫度），一般精度可達到±0.5℃以內。
本安型露點儀標準測量步驟如下：
1. 將開關撥至電池檢查檔，檢查電池狀態。
2. 打開測量點的采樣閥，檢查樣氣中無灰塵和冷凝物，如果有灰塵或冷凝物，請等待排凈或放棄測量。儀器僅需要很小的樣氣壓力。
3. 用儀器帶的PTFE管連接采樣點和儀器。
4. 調節采樣閥或減壓閥使樣氣流量穩定，（5—10 L/min 是理想的，但是不用嚴格要求，不要超過20 L/min）。
5. 用樣氣先吹掃管路2或3分鐘（若要測量低于-65℃的干燥氣體，則需要更長時間）。然后用手指堵住測量頭的氣體出口，樣氣壓力會頂起測量頭，當測量頭*抬起，松開手指（若樣氣壓力不夠，則在出口接一段1---2米的管，然后用手緩慢拔起測量頭）。
6.儀器指針會向濕區移動，穩定，就可讀數。如果指針向濕區移動后，又向干區移動，則表明在測量頭抬起前采樣管路沒有吹掃*或樣氣本身水分在變化（變干）。
7.測量完畢后壓下測量頭以備下次測量。
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