廣聯介紹德國EGE流量控制器工作原理

德國EGE流量控制器由傳感器，接入器，主機，監控設備，人機界面和節流閥（或者節流閥組）組成。傳感器收集流量等信息，通過接入器接入到主機，這個主機由可能是單片機，也可能是PC機，甚至可能是更高級的計算機。

　　EGE流量控制器是一個多孔板組合的聯動裝置，是目前國產較為可靠的解決動態水力平衡的元件。它由一個流量設定調節閥，即手動的可調孔板（相當于一個靜態平衡元件）和二個閥瓣及彈簧、膜片組成的動態調節裝置。即自動的可調孔板（相當于一個動態平衡元件）組成。

　　2.EGE流量控制器原理

　　電子式流量控制器帶有結實本體，兩個連接法蘭，帶磁鐵和帶刻度的不同流程范圍的調節插板，密封條，帶電磁觸點的指針，電路系統連接器。液體或氣體從固定在直立方向的設備底部向上流動,從而推動可變顯示部分的調節插板的位置，并且可以通過觀察管道上有可視刻度線的部分，紅色刻度表示流速在某一個值上。通過這種方式可以讀取循環中的瞬時流量。

　　浸入流體內部的指示調節閥門，在沒有機械摩擦力的情況下可以自由移動，在內部所襯磁鐵產生的磁場作用下，電子報警觸點就會接觸。依靠開關上有基準指示的可移動指針，觸點的斷開與接觸由所檢測液體的流速來決定，并顯示在內部標簽上。

　　3.EGE流量控制器作用

　　流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

德國EGE質量流量控制器的工作原理特征介紹

質量流量控制器可以用于控制各種清潔干燥氣氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但對于使用腐蝕性氣體和特殊氣氣體,需要恰當選擇型號和密封材料。

用戶在訂貨時,需要向供貨廠商特殊說明使用氣體，以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。通常質量流量控制器接觸工作氣體的材質為316L不銹鋼、密封材質分為金屬焊接，

聚四氟乙烯和普通氟橡膠。質量流量控制器采用金屬焊接密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬焊接密封的MFC.

EGE質量流量控制器采用熱擴散原理,熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD),一個是速度傳感器,一個是自動補償氣

體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時,其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感

元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加,介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質量流量控制器的二工作電流,此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。

質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。質量流量控制器具有體積小，數字化程度高,安裝方便,測量準確等優點。

質量流量控制器可用于玻璃、太陽能、大氣監測、工業制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環保等各種工業企業的氣體管路分配控制、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際I況的積流量測量和監控。廣聯介紹德國EGE流量控制器工作原理