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真空燒結爐的封閉加熱室采用定型碳氈加其他的保溫材料，這種保溫結構的熱損失明顯減少，測試表明空爐熱效率為70%，通常同類爐型熱效率為50%左右。所以這種保溫結構大大降低了成本，且維護更方便快捷。
微波真空燒結爐也具有潤滑劑燒除、預燒結及高溫燒結的功能。潤滑劑含量多的壓坯可先在一般爐中燒除，然后再在真空爐內燒結。
微波真空燒結爐內部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結區。加熱形式有電熱元件（如碳管、碳棒）加熱、中頻感應加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻，可向爐內通入氫、氮、氬等氣體。
微波真空燒結爐結構特點：
（1）爐體全部采用不銹鋼制造，為雙層結構，分內外桶體，爐底封頭采用旋壓工藝加工。因為熱壓裝置產生的力要由爐體承受，爐體必須具有很高的強度和足夠的剛度，在外力和高溫下不得變形。爐底動密封裝置的固定座中心線與爐體上法蘭盤必須垂直，以保證下頂桿運動的直線度。動密土封裝置固定座有良好的冷卻條件，以延長密封件的使用壽命。
（2）爐蓋由爐蓋體、舉起油缸和上壓頭組成。爐蓋為雙層結構，為承受下頂桿傳遞的壓力，必須具有足夠的強度和剛度。上壓頭的下端工作時處于高溫區，必須強制冷卻。
（3）保溫桶由隔熱桶、反射桶、保溫層及桶體組成，分別用石墨、鉬片、石墨氈和不銹鋼制作。用鉬片制作的反射桶主要抵御由發熱元件產生的輻射熱，以免損害保溫層和爐體。
（4）熱壓裝置由液壓站、油缸、舉起油缸、下頂桿及控制器組成。液壓站有兩路壓力輸出，是驅動爐蓋上下運動，二是驅動熱壓油缸運動。熱壓油缸的控制有兩種方式，手動或自動。自動運行時，可根據設定的壓力自動保壓，使制品始終處于恒壓狀態。
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