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掃描電鏡能不能觀察厚試樣?

來源:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司   2022年05月29日 16:05  
  掃描電鏡報(bào)價(jià)可以找我們的客服了解,它是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是,①有較高的放大倍數(shù),2-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào);②有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);③試樣制備簡(jiǎn)單。目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析,因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。
 
  高能電子束與樣品物質(zhì)相互作用產(chǎn)生二次電子,背反射電子,X射線等信號(hào)。這些信號(hào)分別被不同的接收器接收,經(jīng)放大后用來調(diào)制熒光屏的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流與顯像管相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈上的電流同步。
 
  因此,試樣表面任意點(diǎn)發(fā)射的信號(hào)與顯像管熒光屏上相應(yīng)的亮點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)。也就是說,電子束打到試樣上一點(diǎn)時(shí),在熒光屏上就有一亮點(diǎn)與之對(duì)應(yīng),其亮度與激發(fā)后的電子能量成正比。
 
  掃描電鏡可以直接觀察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品,不受樣品形狀的限制,也可以觀察到粗糙的表面,避免了樣品制備的麻煩并能真實(shí)觀察樣品本身不同物質(zhì)成分的對(duì)比度(背反射電子圖像)。
 
  掃描電鏡可以獲得高分辨率和真實(shí)的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在比較厚樣品的觀察時(shí),由于透射電子顯微鏡也采用層壓法,層壓的分辨率通常只有10nm,而且觀察的不是樣品本身。因此,用掃描電鏡觀察厚樣品,獲得樣品的真實(shí)表面數(shù)據(jù)更為有利。

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