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ICP光源由高頻電源和ICP矩管構成，而矩管的結構和特性對分析性能有更大的影響，是ICP光譜裝置的核心構件。
作為ICP火焰形成的重要部分，ICP炬管是由三層同心石英管套接而成。三層石英管內通入工作氣體，商品化的ICP光譜儀均通入氬氣（當然實驗裝置有通入空氣、N2、Ar-N2混合氣、He等），外管由切線方向通入氬氣，稱為等離子氣，形成等離子體能源（也稱冷卻氣，它有冷卻炬管的作用）。中間管通入氬氣稱為輔助氣（也稱為等離子氣），起到托起ICP火焰的作用，防止等離子焰炬燒壞內管。內管通入氬氣稱為載氣，它是將溶液試樣經過霧化后的氣溶膠載入ICP火焰。好的炬管必須有如下性能：
①容易點燃ICP火焰；
②產生持續、穩定的等離子體，引入試樣對焰炬穩定性的影響輕微，無熄滅或形成沉積物的危險；
③樣品經中心通道到分析觀測區的量足夠大；
④樣品在等離子體中有較長的滯留時間并被充分加熱；
⑤耗用的工作氣體較節??；
⑥點燃ICP火焰所需功率盡量??；
⑦污染容易清洗，拆卸、安裝簡易方便。
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