FS4000系列質(zhì)量流量傳感器是采用的微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

FS4003氣體質(zhì)量流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008氣體質(zhì)量流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè)，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等

?二、FS4000系列氣體質(zhì)量流量傳感器(FS4003和FS4008)產(chǎn)品主要特性

1）為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)

2）支持多種連接方式，易于安裝與使用

3）傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量

4）在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

5）輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓

6）零點(diǎn)穩(wěn)定度高

7）全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

8）低功耗、低壓損

9）響應(yīng)速度快