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等離子體是由被剝奪部分電子后的原子及原子團電離產生的離子化氣體狀物質，具有比氣態、液態、固態物質都高的能量范圍，被稱為物質的第四態。等離子體是由離子、電子和中性粒子組成的中性集合體，在與材料表面撞擊時會將自己的能量傳遞給材料表面的分子和原子，產生一系列物理和化學過程。一些粒子還會注入到材料表面引起碰撞、散射、激發、重排、異構、缺陷、晶化及非晶化，從而改變材料的表面性能。
等離子表面處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態，利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子表面處理儀由等離子發生器、氣體輸送系統及等離子噴頭等部分組成。等離子發生器產生高壓高頻能量在噴嘴鋼管中被激活和被控制的光放電中產生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，當等離子體與被處理物體表面相遇時，產生了化學作用和物理變化，表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，建立了羥基、羧基等自由基團，這些基團對各種涂敷材料具有促進其粘合的作用，在粘合和油漆應用時得到了優化。
等離子表面處理儀在材料學，光學，電子學，醫藥學，環境學、生物學等科研領域得了廣泛的應用，主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機物、鍍膜前處理、器械消毒等。
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