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原子熒光光譜儀通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發下產生的熒光發射強度，來確定待測元素含量。原理：利用惰性氣體氬氣作載氣，將氣態氫化物和過量氫氣與載氣混合后，導入加熱的原子化裝置，氫氣和氬氣在特制火焰裝置中燃燒加熱，氫化物受熱以后迅速分解，被測元素離解為基態原子蒸氣，其基態原子的量比單純加熱砷、銻、鉍、錫、硒、碲、鉛、鍺等元素生成的基態原子高幾個數量級。
原子熒光光譜儀經常使用時，如果不好好維護，還是容易出現故障的，其各個部件的維護方法如下：
1、火焰原子化器的維護火焰原子化器的維護與原子吸收分光光度計相同，要保證霧室的廢液暢通無阻，才能點火。點火的順序是先開啟助燃氣后開啟燃氣，熄滅的順序是先關閉燃氣，待火熄滅后再關閉助燃氣。如果發生“回火”事故，應迅速關閉燃氣，然后關閉助燃氣。
2、石墨爐原子化器的維護 石墨爐原子化器的維護，主要為通冷卻水進行冷卻，避免把石墨爐原子化器燒壞。
3、空心陰極燈的維護 不要用硬物撞擊空心陰極燈，換燈時，要穿戴紗手套；熱的燈管要防止被溶液濺射；一旦石英窗口被污染，要用脫脂棉蘸無水乙醇擦拭干凈。
4、供氣管道的維護與檢漏 供氣管道要經常檢查、檢漏。如果發現管道老化發硬變黑，要及時更新；如果有漏氣現象應采取堵漏措施。
5、燃燒器的維護 如果發現燃燒器的火焰分叉，應馬上熄滅火焰，采用刀片等適當工具把縫口的積鹽等污染物除去，或把燃燒器取下用水沖洗排除污物。
6、霧化器的金屬毛細管的維護與檢修 當霧化器的金屬毛細管被堵塞時，可用洗耳球從出樣口吹氣，排除堵塞物，或用較軟的金屬細絲進行疏通。
7、ICP原子化器的維護 ICP原子化器的各種炬管多為玻璃材料制成，容易破碎和堵塞，所以要小心使用，不要碰擊硬物或摔碎。如果被樣品殘留物堵塞，可以用酸洗或溶劑清洗。
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