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真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔體及相關機械等幾個部分構成。是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。
清洗機利用兩個電極形成電磁場，用真空泵實現有效的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的間距及分子或離子的自由運動的距離也越來越長，受磁場作用發生碰撞而形成等離子體并產生輝光。
等離子體在電磁場內的空間運動，并不斷轟擊被處理物體表面，去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有機物以及其它化學物質，以此達到表面處理清洗和刻蝕的效果。
真空等離子清洗機整個清洗過程大致如下：
1、首先將被清洗的工件送入真空機并加以固定，啟動運行裝置開始排氣，讓真空腔內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘。
2、然后向真空室內引入等離子清洗用的氣體，并保持腔內壓強穩定。根據清洗材料的不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。
3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿并通過輝光放電而發生等離子化和產生等離子體，讓在真空腔內產生的等離子體籠罩住被處理的工件并開始清洗作業，一般清洗處理持續幾十秒到幾十分鐘不等，根據處理材質的不同而定。
4、清洗完畢后切斷電源，并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出，清洗結束。
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