高純氣體管道配管

　　所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業原則，并在圖紙中注明管道材質。

　　管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316LEP管，經電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak tovalleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結(Bright Anneal)處理之316LBA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316LBA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。更多氣體知識請關注氣體圈子微信：gasgroup管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing& Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

　　目前在國內潔凈管道可參照標準比較少，通常我們除了參照《潔凈廠房設計規范》《氫氣站設計規范》《氫氧站設計規范》《壓縮空氣設計規范》等有關技術行業技術規范外，在業內我們慣用的選材與配管一般參照國際通用的行業標準各種氣體配管配件要求在半導體體行業線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露點的要求也越來越高。

　　高純氮氣(PN2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

　　氮氣(N2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。

　　高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。氬氣(Ar)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

　　氦氣(He)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

　　特氣系統：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

　　壓縮空氣(CDA)：系統管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的球閥(要求不高的公司亦可采用銅管，視工藝要求定)

　　對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患?，F在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。

　　針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內，再透過管路將氣體供應至現場附近的閥箱(VMB, ValveManifold Box)，而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point ofUse)，更多氣體知識請關注氣體圈子微信：gasgroup于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤(GB, GasBox)與制程控制模塊聯機，以質流控制器(MFC, Mass Flow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務系統的設計范疇，而是歸屬制程機臺設備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(GasRack)與閥盤(VMP, Valve Manifold Panel)進行供應。

　　不同氣體配管要求

　　腐蝕性能較強的氣體時，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內表面產生腐蝕斑，嚴重時會出現大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。

　　大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時組織不發生變化。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。

　　綜上所述，對于高純氣體及特種氣體輸送管道，需采用一種特種處理的高純不銹鋼管，至使高純管道系統(包含管道、管件、閥門、VMB、VMP)在高純氣體配送中占有至關重要的作用