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固態、液態和氣態是人們每時每刻所感知的三種物質狀態，這三種狀態的物質是由原子和分子構成。通過輸入能量(如熱量)，可實現物質從一種狀態轉化為另一種狀態。當氣態物質被進一步加熱到更高的溫度時，或是氣體在受到高能量的照射后，氣體物質就轉化為第四態，即等離子體態。在這種狀態下，部分氣體原子已解離成電子和離子，也有一些在吸收能量后變成具有化學活性的亞穩態原子。在這種狀態中，不但包含有一定能量的中性原子和分子，而且還有相當量的帶電粒子、一定量的帶有化學活性的亞穩態原子和分子。電離出的自由電子總的負電量與正離子總的正電量相等，這種高度電離的、宏觀上呈中性的氣體叫等離子體。
等離子清洗機原理是兩個電極之間形成高頻交變電場，用真空泵在裝置的密閉容器中實現一定的真空度隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，區域內氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體。在真空和瞬時高溫狀態下，活性等離子對孔壁內鉆污、殘膠及油污等污染物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，污染物部分蒸發或在高能量離子的沖擊下被擊碎，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，從而達到清洗目的。
等離子清洗機在材料學，光學，電子學，醫藥學，環境學、生物學等科研領域得了廣泛的應用，主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機物、鍍膜前處理、器械消毒等。
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