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ICPMS是一個以質譜儀作為檢測器的等離子體(ICP)，而質譜學家則認為ICPMS是一個以ICP為源的質譜儀。事實上，ICP-AES和ICPMS的進樣部分及等離子體是及其相似的。ICP-AES測量的是光學光譜(165～800nm)，ICPMS測量的是離子質譜，提供在3～250amu范圍內每一個原子質量單位(amu)的信息，因此，ICPMS除了元素含量測定外，還可測量同位素。
ICPMS的檢出限給人極深刻的印象，其溶液的檢出限大部份為ppt級(必需記牢，實際的檢出限不可能優于你實驗室的清潔條件)，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級，ICP-AES大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素在潔凈的試樣中也可得到令人注目的亞ppb級的檢出限。
ICPMS的ppt級檢出限是針對溶液中溶解物質很少的單純溶液而言的，若涉及固體中濃度的檢出限，由于ICPMS的耐鹽量較差，ICPMS檢出限的優點會變差多達50倍，一些普通的輕元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICPMS中有嚴重的干擾，也將惡化其檢出限。
AAS是原子吸收光譜，因為只利用原子光譜中單色光照射，所以只能檢測一種元素的含量，不過檢測限比較低而且重現性比較好.ICP-AES是原子發射光譜，檢測原子光譜中的多條譜線.檢測限也比較低，而且多通道的可以同時檢測多種原子和離子.比較方便.重現性也不錯.ICPMS是ICP質譜聯用.利用質譜檢測同位素含量來檢測元素的含量.檢出限低.效果理想。
以上三種技術呈現了不同類型及復雜的干擾問題，為此，我們對每個技術分別予以討論。
ICPMS的干擾:質譜干擾、基體酸干擾、雙電荷離子干擾、基體效應、電離干擾、空間電荷效應。
ICP-AES干擾：光譜干擾、基體效應、電離干擾。
GFAAS干擾：光譜干擾、背景干擾、氣相干擾、基體效應。
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