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X射線熒光光譜儀具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析B(5)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。
X射線熒光光譜是一種常用的光譜技術，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測量等。
X射線熒光光譜儀使用的注意事項
(1)樣品檢測前,為了減少雜質對結果的影響,應該對樣品進行盡可能的清潔處理。選用清潔試劑時,要極為慎重,以免對樣品產生影響。
(2)為了防止樣品不同區域的狀態有所不同,需要對同一樣品多點測量,以提高測量的可信度,即注意采樣點的合理性。
(3)對同一樣品進行多次測試,以證明檢測方法的精密度。
(4)初期的數據需要用不同的檢測方法和實驗進行比對,以保證測量數據的準確性、可靠性。采用有損檢測方法(例如化學分析法,這時候需要對不重要的樣品進行分析)對比儀器的檢測結果。
(5)選取標樣時盡可能地與樣品的組成相近。
(6)X射線熒光光譜法是一種表面分析技術,其分析結果受樣品表面大小、光潔度和幾何形狀的影響較大。校正公式和校正系數的建立也需要總結。
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