臭氧發生器空氣源系統：空氣源系統是指一套產生符合臭氧產生要求的原料空氣的設備，包括空氣壓縮機、后冷卻器、儲氣罐、冷凍式干燥機、吸附式干燥機、空氣過濾器、熱交換器等的部分或全部，將空氣經過多道處理工藝后送入臭氧發生器產生臭氧。

 臭氧氣發生裝置采用水作為冷卻水的冷卻水溫度應在15-20℃之間，一般要求溫度不超過28℃。當水溫≤32℃時，臭氧發生器可連續工作，但在30℃冷卻水中臭氧的產量比在15℃時，其產氧量可降低10~20%。冷卻水中應保證較高的水質，一般要求濁度不超過10度(NTU)，硬度不大于450mg/L，氯化物不大于150mg/L,COD不大于100mg/L，懸浮物不大于10mg/L，這樣就不會在容器內造成沉淀，有利于臭氧發生器的長時間連續運行。臭氧發生器冷卻水根據現場條件，因地制宜地采用開路或閉路循環，或回流到水處理系統工藝中的方式；根據水質點，采取適當的防垢、防有機物沉積措施。。