HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍,客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門,客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式,包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標志。
上海首榮工業設備有限公司
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