無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵車間可以分為以下幾個級別:
百級 千級 萬級 十萬級 30萬級
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱級別中的千級。
千級無塵車間的標準,微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1k級別1)裝配式無塵車間廠房的全部維修工廠內按統一模數及系列加工完成,適于批量生產,質量穩定,供貨迅速。
2)無塵車間機動靈活,既適合在新建廠房配套安裝,也適宜老無塵車間廠房的凈化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合,拆卸方便。
3)無塵車間需要輔助建筑面積較小,對土建筑裝修要求低。
4)無塵車間氣流組織形式靈活、合理,可滿足各種工作環境、不同潔凈等級的需要。
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