ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質譜法(Inductively coupled plasma-Mass Spectrometry)它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器，它能同時測定幾十種痕量無機元素，可進行同位素分析、單元素和多元素分析，以及有機物中金屬元素的形態分析。

1、ICP-MS基本原理：

樣品進行ICP-MS分析時一般經過以下四步：

（1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進入由射頻能量激發的處于大氣壓下的氬等離子體中心區；

（2）等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離；

（3）部分等離子體經過不同的壓力區進入真空系統，在真空系統內，正離子被拉出并按其質荷比分離；

（4）檢測器將離子轉化為電子脈沖，然后由積分測量線路計數；

電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關，通過與已知的標準或參比物質比較，實現未知樣品的痕量元素定量分析。

 

2、ICP-MS基本構造：

一個標準的ICP-MS儀器分為三個基本部分：

（1）ICP（樣品引入系統，離子源）
ICP要求所有樣品以氣體、蒸汽和細霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進入中心通道氣流中。ICP-MS 是以電感耦合等離子體作為離子源。

（2）接口（采樣錐，截取錐）
接口是整個ICP-MS系統關鍵的部分。其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質譜。

（3）質譜儀（離子聚焦系統，四級桿過濾器，離子檢測器）

ICP-MS的離子聚焦系統與原子發射或吸收光譜中的光學透鏡一樣起聚焦作用，但聚焦的是離子，而不是光子。四極桿是一個順序質量分析器，必須依次對目標質量進行掃描，并在一個測量周期內采集離子。其掃描速度很快，大約每100毫秒可掃描整個元素覆蓋的質量范圍。四極桿系統將離子按質荷比分離后終引入檢測器。檢測器將離子轉換成電子脈沖，然后由積分線路計數。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關。通過與己知濃度的標準比較,實現未知樣品的痕量元素的定量分析。