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Agilent等離子體光譜儀主要用于液體試樣（包括化學處理能轉變成溶液的固體試樣）中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析。將樣品溶液以氣溶膠形式導入到等離子體炬焰中，樣品被蒸發和激發，發射出所含元素的特征波長的光。
經分光系統分光，其譜線強度由光電器件接受并轉變為電信號而被采集。根據元素濃度與譜線強度之間的對應關系，測定樣品中各相應元素的含量。
Agilent等離子體光譜儀對氣體控制系統的維護保養：
ICP的氣體控制系統是否穩定正常地運行，直接影響到儀器測定數據的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩定，因此，對氣體控制系統要經常進行檢查和維護。
先要做氣體試驗，打開氣體控制系統的電源開關，使電磁閥處于工作狀態，然后開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，應在幾個小時內沒有下降或下降很少，否則氣路中有漏氣現象，需要檢查和排除。
然后由于氬氣中常夾雜有水分和其它雜質，管道和接頭中也會有一些機械碎屑脫落，造成氣路不暢通。
因此，需要定期進行清理，拔下某些區段管道，然后打開氣瓶，短促地放一段時間的氣體，將管道中的水珠，塵粒等吹出。在安裝氣體管道，特別是將載氣管路接在霧化器上時，要注意不要讓管子彎曲太厲害，否則載氣流量不穩而造成脈動，影響測定。
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