賀德克壓力傳感器的結(jié)構(gòu)原理

      賀德克壓力傳感器采用的硅膜片是用單晶硅制成約3mm的正方形，厚度為160μm，在硅膜片的中心部位經(jīng)光刻腐蝕形成一個(gè)直徑為2mm、厚約50m的薄膜片，薄膜片表面的圓周上有4只阻值相等的應(yīng)變電阻，連接成惠斯登電橋。當(dāng)發(fā)動(dòng)機(jī)工作時(shí)，進(jìn)氣歧管內(nèi)的部分空氣經(jīng)傳感器進(jìn)口和濾清器作用在硅膜片上，硅膜片就會(huì)產(chǎn)生變形，應(yīng)變電阻的阻值就會(huì)發(fā)生變化，電橋輸出電壓隨之變化。進(jìn)氣壓力隨進(jìn)氣流量的變化而變化，節(jié)氣門(mén)開(kāi)度增大(即進(jìn)氣流量增大)時(shí)，空氣流通截面增大,氣流速度降低，進(jìn)氣壓力升高，膜片的變形量增大，應(yīng)變電阻的變化率增大，電橋輸出的電壓升高，經(jīng)集成電路進(jìn)行比例放大后，傳感器輸人電控單元的信號(hào)電壓升高。反之，節(jié)氣門(mén)開(kāi)度由大變小(即進(jìn)氣流量減小)時(shí)，進(jìn)氣流通截面減小,氣流速度升高，進(jìn)氣壓力降低，膜片的變形量減小，應(yīng)變電阻的變化率減小，電橋輸出電壓降低，經(jīng)過(guò)比例放大后，傳感器輸人信號(hào)電壓隆低。
 
     賀德克壓力傳感器拔下進(jìn)氣壓力與進(jìn)氣歧管連接的真空軟管，打開(kāi)點(diǎn)火開(kāi)關(guān)，用電壓表在電控單元線束插頭處測(cè)量進(jìn)氣壓力傳感器的輸出電壓。接著向進(jìn)氣壓力傳感器內(nèi)施加真空，并測(cè)量在不同真空度下的輸出電壓，該電壓值應(yīng)隨真空度的增大而降低，其變化情況應(yīng)符合規(guī)定。

賀德克壓力開(kāi)關(guān)的機(jī)械式壓力開(kāi)關(guān)屬于有觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)，根據(jù)機(jī)械接觸和非接觸進(jìn)行開(kāi)或者關(guān)，如繼電器、微動(dòng)開(kāi)關(guān)等；電子式壓力開(kāi)關(guān)，屬于無(wú)觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)，根據(jù)晶體管的開(kāi)路或斷路進(jìn)行開(kāi)或者關(guān)。當(dāng)負(fù)載短路時(shí)，過(guò)電流會(huì)瞬時(shí)破壞開(kāi)關(guān);開(kāi)關(guān)對(duì)誤配線沒(méi)有考慮保護(hù)措施，特別要注意電源線和輸出線不能接錯(cuò)，否則會(huì)破壞開(kāi)關(guān);過(guò)電壓發(fā)生裝置如電磁式升降機(jī)、高頻感應(yīng)爐、電機(jī)等在開(kāi)關(guān)周圍，則會(huì)使開(kāi)關(guān)內(nèi)部元件劣化、壽命降低，應(yīng)該采取過(guò)電壓抑制措施，并避免導(dǎo)線混合排布。
 
      賀德克壓力開(kāi)關(guān)的電子式壓力傳感器，硅擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器硅膜片上的四個(gè)擴(kuò)散電阻組成一個(gè)橋電路，當(dāng)壓力使硅膜片變形，由于壓電效應(yīng)引起橋電路的不平衡，產(chǎn)生的電流與被測(cè)壓力成正比。由于無(wú)可動(dòng)部件，壓力傳感器為半長(zhǎng)期壽命，正常使用的前提下，發(fā)生故障的可能性極小。不銹鋼膜片式壓力傳感器(濕空氣、水或油用)不銹鋼膜片上的四個(gè)擴(kuò)散電阻組成一個(gè)橋電路，與流體接觸的管接頭部位和傳感器的膜片的兩種不銹鋼的抗腐蝕性能幾乎一樣。自動(dòng)預(yù)調(diào)機(jī)能通過(guò)數(shù)次吸著和未吸著，能自動(dòng)選出合適的設(shè)定值。