HORIBA集團(tuán)旗下經(jīng)典，*大的產(chǎn)品即熱式質(zhì)量流量控制器，其原理是利用氣流流過(guò)毛細(xì)管造成毛細(xì)管上下游溫差從而檢測(cè)、控制氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)或流量控制器，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應(yīng)氣流瞬時(shí)流量，所以適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。

應(yīng)用市場(chǎng)
質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境、食品、生物制藥等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
 
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的區(qū)別
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能。
質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫(xiě)為MFM)，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能。
 
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的單位
SCCM、SLM為常見(jiàn)的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下的體積單位。標(biāo)準(zhǔn)條件指溫度為零攝氏度，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的條件。
SCCM–標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘
SLM–標(biāo)準(zhǔn)立方升每分鐘
1000SCCM = 1SLM

質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)使用小貼士

• 一般情況下當(dāng)一顆MFC或MFM接上電源線后，確保環(huán)境溫度穩(wěn)定并使其接電預(yù)熱15分鐘以上，可有效確保產(chǎn)品精度及穩(wěn)定性。

• 在安裝過(guò)程中，位于MFC或MFM背部大標(biāo)簽下方有指示氣體流經(jīng)的方向。

• 質(zhì)量流量控制器中的Normal Close與Normal Open的區(qū)別

Normal Close型的MFC： 斷電情況下，閥保持常關(guān)狀態(tài)的MFC。
Normal Open型的MFC： 斷電情況下，閥保持全開(kāi)狀態(tài)的MFC。