高純四氯化硅為無色透明液體，純度稍低的呈現微黃或者淡黃色，有窒息性氣味。常溫常壓下密度1.48，熔點-70℃，沸點57.6℃，沸點隨著壓力增高而增高。在潮濕空氣中水解而成硅酸和氯化氫。遇水時水解作用很激烈，也能和醇類起激烈反應。溶于四氯化碳、四氯化鈦、四氯化錫。對皮膚有腐蝕性。用于制硅酸酯類、有機硅單體、有機硅油、高溫絕緣漆、硅樹脂、硅橡膠等，也用作煙幕劑。工業上大部分的制取由硅粉高溫與氯化氫合成反應而得。

泄露應急處理：迅速撤離泄漏污染區人員安全區，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防酸堿工作服。從上風處進入現場。盡可能切斷泄漏源。

小量泄漏：將地面灑上石灰，然后用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統。

大量泄漏：構筑圍堤或挖坑收容。在專家指導下清除。

操作注意事項：密閉操作，注意通風。操作盡可能機械化、自動化。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩），穿橡膠耐酸堿服，戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑、堿類、醇類接觸。尤其要注意避免與水接觸。搬運時要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。配備泄漏應急處理設備。倒空的容器可能殘留有害物。

儲存注意事項：儲存于陰涼、干燥、通風良好的庫房。遠離火種、熱源。包裝必須密封，切勿受潮。應與氧化劑、堿類、醇類等分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理方案和適當高度磚土圍擋。