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TMC MaxDamp™-針對動態載荷和偏移載荷的氣浮支腿系統

來源:青島森泉光電有限公司   2019年10月08日 15:54  

MaxDamp是TMC在氣浮光學平臺系統上針對動態載荷或偏移載荷產品的一個創新。

在需要震動隔離的實驗室里經常遇到桌面上有動態載荷或者高速移動的有效載荷,普通的光學平臺支腿很難在這種條件下同時保持氣浮桌面的穩定性和平臺隔振的有效性,但MaxDamp的出現有效的解決了這些問題。

MaxDamp®將TMC傳統的Gimbal Piston空氣隔振器與內部防篡改粘性阻尼相結合,為此類應用提供了額外的阻尼。

當需要較高阻尼時,它將成為合適的一個選擇,而且它的減振性能只是略微有一點減弱,卻獲得了更快的有效負載穩定時間和更高的阻尼水平。

MaxDamp適用于需要快速穩定有效載荷的高負載偏移、高速XY電動工作臺的有效載荷,如半導體檢測、光刻機以及其他具有相對較高動態載荷的電動工作臺的儀器,對于具有機器人運動或電動工作臺的有效載荷,MaxDamp®提供的有效隔振并主動穩定有效負載引起的運動更使其成為*的解決方案。

 

如果您的動態載荷或偏移載荷非常大,MaxDamp®的阻尼性依舊不能滿足您的需求,那么UltraDamp™ - zui高阻尼空氣隔振系統 將會滿足您的這些zui高阻尼需求。

 

性能特點:

1. 從4-5 Hz開始的水平和垂直隔振
2 共振的zui小放大(3-5 dB)

3模塊化設計。

4結合了自調平Gimbal Piston™空氣隔振器的優勢,并具有高阻尼作用

5可升級到Electro-Damp®主動隔振

6非常適合具有機器人運動或電動工作臺的有效載荷,可提供所需的隔振并主動穩定有效負載引起的運動

 

TMC的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平對比圖表:

GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™的訂購示例表:

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