電感耦合等離子體質譜（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）簡稱ICP-MS，是以等離子體為離子源的一種質譜型元素分析方法。ICP-MS作為痕量元素分析的有效手段，主要用于多種金屬元素的同時測定，并可與其他技術聯用，進行樣品中元素的微區分布和元素形態分析。

    激光燒蝕(LA,LaserAblation)技術和ICP-MS的聯用(LA-ICP-MS)目前成為一種對不同樣品基體進行快速多元素測定的有前途的分析方法。

    激光燒蝕(LA)是激光的一種應用。當一束高輻照度短脈沖寬度的激光聚焦于物質表面時產生激光燒蝕。早期研究中LA-ICP-MS多用于紅外激光源,近年來研究者們認同了使用短脈沖寬度的紫外激光源的優點。雖然LA-ICP-MS有許多優點,但并不意味著它適合成為固體樣中元素測定的一般方法。主要的問題是:分析結果的偏差較大,依賴于固體樣的均勻性、性質和表面狀態,以及基體匹配的標準難以獲得。此外,在固樣的燒蝕過程中存在元素的選擇性蒸發(即分餾)。LA-ICP-MS已應用于分析大氣中微粒物質,陶瓷層、礦物中的液體包容物。長石中的Sr和鋯石中Hf的同位素比。(其測定精度接近于TIMS)。測定礦石包容物,迄今為止主要是人工合成物,其中加入已知濃度的痕量重元素(例如:Sr,U)作為內標可獲得好的定量結果。