β射線反向散射法測厚是一種較精密的非破壞性測厚方法, 其工作原理是用放射性同位素(如率E-Pml47等)釋放出β射線,在射向被測試樣后, 一些進入金屬的β射線被反射至探測器,被反射的β粒子的強度,是被測涂層種類和厚度的函數,因此,從探測器測量由被測涂層反射的β射線強度, 即可測得被涂層的厚度,,該法特別適用于對各種貴金屬涂層的厚度測量; 也可測量金屬或非金屬基體上的薄層(2.5µm以下)的非金屬涂覆層,,由于β射線測厚儀本身只是一個測量β射線反射強度的比較儀器, 它的厚度值刻度是通過標準樣品的定標得出的,如果被測試樣與標準樣品的涂層成分、密度、基體種類以及表面曲率有差異時, 則要根據下列公式修正厚度讀數值：

β射線儀測厚的操作方法可按儀器的使用說明進行, 因為測厚時使用了各種放射源, 對人的健康有害, 操作時必須嚴格按規定要求操作, 并注意防護措施。