手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
凈化車間具體工藝對溫度的要求，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小；要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產*溫度范圍為35—45%。
換氣次數是通入室內的潔凈空氣量相當于房間體積的倍數，其單位是次/h。如果一小時內通入的空氣量和房間體積一樣，換氣次數就是1次/h，以此類推，換氣次數是亂流潔凈室決定潔凈度水平的主要參數。
換氣次數越大，潔凈度級別越高。
換氣次數可以根據要求的空氣潔凈度級別、室內人數、房間面積、室內其他發塵量和新風比通過公式求出來，特別是動態條件下更需要針對具體條件進行計算。
凈化車間壓差控制的基本原理是控制送風量、回風量和排風量。當送入凈化車間內的空氣量適當的大于回風和排風量時，室內則可維持一定的正壓值。此時，在室內外靜壓差的作用下，通過圍護結構不嚴密處向外滲漏的風量與機械進出風量的差額相等。
壓差維持的難題在于機械送風量與出風量是動態變化的。對于潔凈空調系統來說，過濾器積塵會造成新風、送風管路阻力增加，從而影響風量，排風設備的時開時停也會導致排風量的變化；此外，與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風壓的變化影響房間的壓差。因此潔凈室的壓差值需要經常進行檢查，并依次對新、送、回、排風通路的閥門作出相應的調整。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心