凍干機技術中要測量的壓力范圍為105~1Pa,屬于低真空與中真空范圍。但常會有可凝性氣體(以水蒸氣為主,也有油蒸汽),還伴隨著溫度變化和凍干機設備內溫度的不均勻等情況。因此在選擇凍干機的真空計和進行測量時,必須注意實際的工藝條件及其對測量結果的影響。目前在凍干機中主要應用的真空測量儀表有以下幾種。
1、熱導式真空計(熱偶真空計、電阻真空計)。
2、電容薄膜式真空計。
3、彈性式真空表。
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