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MC方案|利用白光反射光譜(WLRS)膜厚儀硅膜表征

來(lái)源:邁可諾技術(shù)有限公司   2019年05月22日 17:08  

 

光學(xué)膜厚儀 膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x

FR的工具基于白光反射光譜(Reports),準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率

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