等離子體射頻發生器的設計方法主要分為兩種：驅動設計和振蕩器設計。在驅動設計中，等離子體加感線圈由放大固定頻率的射頻信號源直接驅動。由于等離子體阻抗取決于對等離子體的樣品裝載，所以必須一直不斷地監測和調整阻抗匹配網絡。在某些系統中，匹配網絡包括一個或多個機械可調（電機驅動）可變電容器。驅動模式的等離子體發生器一般具有較好的振幅穩定性和較低的相位噪音，同時等離子體條件不變。但是當等離子體阻抗因為樣品轉變、快速電壓瞬變樣品負載或向等離子體引入不同類型的氣體而發生突變時，該系統的響應時間相對較慢

基于振蕩器的等離子體發生器的主要優點是當向等離子體載入不同的樣品時阻抗匹配的響應時間較快。在典型的振蕩器設計中，等離子體由變頻振蕩器驅動，例如壓控振蕩器（VCO）。用控制電壓調整振蕩頻率，從而達到優的阻抗匹配。阻抗網絡的相位失配被用作反饋信號，從而調整頻率達到優的阻抗匹配。與采用機械調整方式的驅動模式等離子體發生器相比，頻率調整由電子完成，所以實際上響應時間是瞬時的。但與射頻頻率相比，相位失配信號是一個低頻模擬信號。因此頻率調整速度受限于 VCO 的響應時間和電路系統中所有低通濾波器的總時間常數。

和典型的 VCO 型振蕩器設計不一樣，NexION 2000 射頻發生器的輸出匹配網絡是振蕩核心不可分割的一部分。作為反饋信號的等離子體加感線圈的直接采樣可以在幾個射頻周期內實現阻抗匹配，只需幾微秒即可轉換。因此，與等離子體匹配時長大約為一秒的典型 VCO 型振蕩器相比，它能使響應更快。這一點至關重要，特別是對于優化的功率傳輸，可以在等離子體點火和分析較難的樣品（例如，等離子體阻抗突變，如果阻抗沒能快速匹配等離子體就會熄滅）時穩定等離子體。

振蕩器基于平衡設計方法具有不同的振蕩核心，這樣一來射頻輸出可以略有區別地驅動等離子體加感線圈，將等離子體電勢降至低。另外，一對大功率晶體管生成的輸出功率可以憑借低損耗阻抗匹配網絡驅動等離子體加感線圈，無需為了功率合成使用一系列晶體管。阻抗匹配網絡配備有穩健的部件，其額定擊穿限值遠遠超過規定的操作條件。大多數等離子體發生器可在 27 或 40 MHz 的標稱頻率下運行。射頻發生器頻率對 ICP-MS 分析性能特征的影響一直頗有爭議。但是過去的很多研究在比較兩個頻率時忽略了二次放電、MS 接口和離子采樣過程的影響。另外也沒有考慮選擇等離子體頻率的一個重要決定性因素，即平衡與不平衡發生器的效果。隨著操作頻率的增加，包括靜電屏蔽在內的針對不平衡系統的技術逐漸表現欠佳，這也解釋了這些技術只能在27 MHz條件下使用的原因。 NexION 2000 ICP-MS 的研發過程開展了大量模擬和實驗室研究，旨在在分析性能和等離子體基本原理的基礎上確定的操作頻率。使用平衡射頻發生器時，由于透入深度更深，較低的頻率通常生成氣體動力學溫度較高的等離子體；但如果將頻率調高，耦合效率則有所改善，從而增強了穩健性和等離子體穩定性，改善了對復雜基體、有機溶劑和混合氣體等離子體的耐受性。基于這些研究結果，專為 NexION 2000 系統設計的射頻發生器預計在 34 MHz 的頻率下運行，大約為 27 MHz 和 40 MHz 的中間點，以便更好地融合這兩個頻率的性能

*、高成功率的點炬 NexION 2000 ICP-MS 的等離子體發生器為用戶提供*、不熄炬的體驗。以它的設計等離子體點火的成功率幾乎為 100%。例如，近期對許多 NexION 2000 儀器進行了加速點火測試：對儀器進行點炬 / 熄炬的背對背測試成功率為 99.97% （1 次失敗）至 100%（零失敗）。