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掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)特點以及優(yōu)勢
掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)特點以及優(yōu)勢
掃描式電子顯微鏡的工作原理與黑白工業(yè)電視相似，顯示部分與黑白工業(yè)電視可以說是*相同，只不過顯像管用的是長余輝的，掃描電路是慢掃描的，再把屏幕轉(zhuǎn)九十度觀看而已；攝像部分的區(qū)別略大一些，它是把閃爍體上的圖像用光電倍增管轉(zhuǎn)換成電信號，而不是用CCD或者CMOS等傳感器直接轉(zhuǎn)換成電信號。
掃描式電子顯微鏡是一種大型精密儀器，它是機(jī)械學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)、熱學(xué)、材料學(xué)、真空技術(shù)等多門學(xué)科的綜合應(yīng)用。掃描式電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5 nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號電子。這些信號電子經(jīng)探測器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過電信號放大器加以放大處理，終成像在顯示系統(tǒng)上。
試樣可為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是主要的成像信號，由發(fā)射的能量為5～35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強(qiáng)度和束斑直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動下，于試樣表面按一定時間、空間順序做柵網(wǎng)式掃描。
聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射(以及其他物理信號)，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，可得到反應(yīng)試樣表面形貌的二次電子像。掃描式電子顯微鏡是用細(xì)的電子束在樣品表面掃描，將產(chǎn)生的二次電子用特制的探測器收集，形成電信號運(yùn)送到顯像管，在熒光屏上顯示物體。
掃描式電子顯微鏡是用細(xì)的電子束在樣品表面掃描，將產(chǎn)生的二次電子用特制的探測器收集，形成電信號運(yùn)送到顯像管，在熒光屏上顯示物體。（細(xì)胞、組織）表面的立體構(gòu)像，可攝制成照片，（細(xì)胞、組織）表面的立體構(gòu)像，可攝制成照片。掃描式電子顯微鏡屬于精密光學(xué)儀器，金相顯微鏡由專人使用，專人負(fù)責(zé)日常維護(hù)、保養(yǎng)，任何人未經(jīng)許可，不得調(diào)試該設(shè)備。為了保證掃描式電子顯微鏡系統(tǒng)正常的發(fā)揮功能，特制定本規(guī)程。
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