原子熒光光譜儀是利用硼氫化鉀或硼氫化鈉作為還原劑，將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發性共價氣態氫化物(或原子蒸汽)，然后借助載氣將其導入原子化器,在氬-氫火焰中原子化而形成基態原子。基態原子吸收光源的能量而變成激發態,激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來, 此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。

　　原子熒光光譜儀利用氫化物發生-原子熒光光譜法(HG-AFS),目前可測定As、Sb、Bi、Hg、Ge、Pb、Sn、Se、Te、Zn、Cd和Cu12種元素，檢出限可達ppb級別，就實際應用來說目前國標法多用來檢測砷、汞、硒等元素，原子熒光光譜儀是國內具有自主知識產權的一款儀器，目前只有國內制定相關標準，國外測砷、汞、硒直接用ICP-MS，不認可原子熒光光譜儀。

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