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ICP光譜法是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種分析方法，它的迅速發展和廣泛應用是與其克服了經典光源和原子化器的局限性分不開的，與經典光譜法相比它具有如下優點：
1. 因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對于多數元素，其檢出限一般為0.1～100ng/ml。
2. 因為ICP光源具有良好的穩定性，所以它具有很好的精密度，當分析物含量不是很低即明顯高于檢出*，其RSD一般可在1%以下，好時可在0.5%以下。
3. 因為ICP發射光譜法受樣品基體的影響很小，所以參比樣品無須進行嚴格的基體匹配，同時在一般情況下亦可不用內標，也不必采用添加劑，因此它具有良好的準確度。這是ICP光譜法zui主要的優點之一。
4. ICP發射光譜法的分析校正曲線具有很寬的線性范圍，在一般場合為5個數量級，好時可達6個數量級。
5. ICP發射光譜法具有同時或順序多元素測定能力，特別是固體成像檢測器的開發和使用及全譜直讀光譜儀的商品化更增強了它的多元素同時分析的能力。
6. 由于ICP發射光譜法在一般情況下無須進行基體匹配且分析校正曲線具有很寬的線性范圍，所以它操作簡便易于掌握，特別是對于液體樣品的分析。
ICP發射光譜法除具有上述主要優點外目前尚有一些局限性，主要體現在以下幾個方面：
1. 對于固體樣品一般需預先轉化為溶液，而這一過程往往使檢出限變壞。
2. 因為工作時需要消耗大量Ar氣，所以運轉費用高。
3. 因目前的儀器價格尚比較高，所以前期投入比較大。
4. ICP 發射光譜法如果不與其他技術聯用，它測出的只是樣品中元素的總量，不能進行價態分析。
ICP發射光譜法測定的是樣品中的多種元素，它可以進行定性分析、半定量分析和定量分析，它的定性分析通常準確可靠，而且在原子光譜法中它是*一種可以進行定性分析的方法。
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