臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好,此外它還可以作為其它形貌測量技術的比對。但是也有其難以克服的缺點:1由于測頭與測件相接觸造成的測頭變形和磨損,使儀器在使用一段時間后測量精度下降;2測頭為了保證耐磨性和剛性而不能做得非常細小尖銳,如果測頭頭部曲率半徑大于被測表面上微觀凹坑的半徑必然造成該處測量數據的偏差;3為使測頭不至于很快磨損,測頭的硬度一般都很高,因此不適于精密零件及軟質表面的測量。
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