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影響精度的變量：

以下因素都會影響到測量的精度:閃爍噪聲、散粒噪聲(即計數統計數據)以及內標物的選擇。閃爍噪聲為分析信號中源自等離子體的噪聲,這主要是由樣品引入過程引起的。這些噪聲源包括來自蠕動泵的脈沖,通過霧室進入等離子體的氣溶膠的產生和運輸,以及等離子體內部發生的過程。通常,蠕動泵是導致閃爍噪聲的主要因素。在考慮散粒噪聲/計數統計信息時，邏輯上來講更高的強度將帶來更佳的精度,但如果沒有以方式實現，更高的強度也會導致精度稍差。例如，增加測量強度的一-種方法是使用更長的讀取時間。但是,在保持恒定的測量時間的同時保證更長的讀取時間，則必須減少重復測量的次數。因此,這也會導致精度降低。所以必須在測量時間、重復次數、分析強度和讀取時間之間平衡。

 

在進行分析時,內標物的使用非常重要,因為它們會同時導致樣品基質和樣品引入效應。內標以恒定的濃度添加到所有空白、樣品和標樣中,濃度要足夠大，以便觀察到由樣品基質和/或樣品引入引起的任何變化。如果內標的強度受到影響，則假定分析物的強度也會受到同樣的影響。在結果中根據內標的信號效應來調整分析物的強度。通常,分析中的所有元素都使用1或2個內標。但是，即使在同步ICP-OES儀器上，內標也可能無法與分析物*同時測量。獲得精度的關鍵是與分析物*同時地測量內標。