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    電感耦合等離子體質(zhì)譜儀應(yīng)用過程中經(jīng)常出現(xiàn)質(zhì)量重疊(多原子干擾)的問題。為了解決這一根本性問題, ICP-MS廠商采用了下列技術(shù):碰撞反應(yīng)接口(CR)、動(dòng)能歧視(KED)碰撞池,或基于冷等離子體技術(shù)和碰撞池技術(shù)的八極桿反應(yīng)系統(tǒng)(ORS) ,但這些技術(shù)都不可避免地影響質(zhì)譜儀的靈敏度。珀金埃爾默基于動(dòng)態(tài)反應(yīng)池(DRC)干擾消除技術(shù)研制的ICP-MS,開創(chuàng)性地結(jié)合了軸向場(chǎng)技術(shù)(AFT),可以同步解決因競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手所采用的干擾消除技術(shù)而必然導(dǎo)致的儀器靈敏度下降問題,成為業(yè)界認(rèn)的一項(xiàng)全新技術(shù)。珀金埃爾默基于動(dòng)態(tài)反應(yīng)池技術(shù)地不斷提升和探索,開發(fā)了通用池技術(shù)(UCT),并應(yīng)用于NexION系列之上。

 

    某些半導(dǎo)體制造廠近出現(xiàn)的化學(xué)泄漏事故引起了人們對(duì)環(huán)境安全和工業(yè)安全的警惕,因此,人們更加迫切地希望找到其他物質(zhì)能夠替代動(dòng)態(tài)反應(yīng)池技術(shù)中常用的反應(yīng)氣一無(wú)水氨氣。

    本研究中，動(dòng)態(tài)反應(yīng)池的反應(yīng)氣被替換成了對(duì)環(huán)境和人體均無(wú)害的氧氣，旨在消除動(dòng)態(tài)反應(yīng)池中的干擾，消除人們對(duì)半導(dǎo)體制造行業(yè)的擔(dān)憂。