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• 1、高電離的氣體。（電離度大于0.1%）

• 2、電中性（正負(fù)電荷相等）
 

什么是ICP（電感耦合等離子體）？

•何為ICP：

•1、高溫常壓氣體；（穩(wěn)定達到10000K）

•2、RF發(fā)生器使電感線圈發(fā)生高頻震蕩磁場；

•3、高頻磁場把能量耦合到氬氣中，使Ar電離；

•4、呈電中性,Ar離子與電子數(shù)目相同；

•5、有大量亞穩(wěn)態(tài)Ar原子；

•組成：RF發(fā)生器、匹配系統(tǒng)（如果需要）、工作線圈、矩管

•主要參數(shù)：頻率、功率范圍與利用率、功率與頻率穩(wěn)定性。

•RF發(fā)生器類型：自激與它激、水冷與風(fēng)冷、電子管與晶體管。

•RF觀測方式：水平、垂直。

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