自從PerkinElmer-SCIEX 公司于1983 年商品化電感耦合等離子體質譜法（ICP-MS）以來，它就成為了發展快的痕量元素檢測技術，覆蓋了多個應用領域。隨著中心抽頭接地線圈的設計突破，我們克服了ICP 源與質譜儀成功聯結的障礙，從而將等離子體電勢降至低，消除了等離子體與接地MS 接口之間的二次放電問題。等離子體射頻發生器進一步發展后出現了*的不同步設計，在無活動部件的情況下，這種設計可以通過細微的頻率變化實現等離子體阻抗變化的即時匹配。另外，通過電平衡與地面電勢有關的等離子體使等離子體電勢保持在低水平。
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