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更新時間：2022-11-30 17:47:31瀏覽次數(shù)：400評價

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產(chǎn)品分類品牌分類

ICPCVD

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產(chǎn)品簡介

PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊且使用方便的小型直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。它易于放置，便于使用，且能夠確保工藝性能。直開式設(shè)計可實現(xiàn)快速晶圓裝卸，是科學(xué)研究、原型設(shè)計和小批量生產(chǎn)的理想選擇。它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現(xiàn)高性能工藝。詢價增加到詢價列表在詢價列表中查看此產(chǎn)品

詳細介紹

III-V族刻蝕工藝
硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝
類金剛石
類金剛石（DLC）沉積
二氧化硅和石英刻蝕
用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進行失效分析的干法刻蝕解剖逆工藝，可處理封裝好的芯片, 裸晶片，以及200mm晶圓
高質(zhì)量PECVD沉積氮化硅和二氧化硅，用于光子學(xué)、電介質(zhì)層、鈍化以及諸多其它用途
用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模沉積和刻蝕

Deep Si feature etch by ICP-RIE cryo process

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