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| 產地類別 | 國產 | 加熱方式 | 電阻絲 排 碳棒 硅鉬棒 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內部尺寸 | φ40 60 80 100 120mm | 升溫速度（達到最高溫） | 10-60/min |
| 儀器種類 | 箱式爐 | 最大功率 | 1-30KkW |
| 最高溫度 | 1200-1800℃ |
產品簡介
詳細介紹
高溫實驗室開啟式RTP快速升降溫管式爐產品描述：
RTP快速升降溫管式爐外形美觀大方，結構設計*合理。以鹵素燈管為加熱元件，采用雙層殼體結構和智能化程序控溫系統，爐膛采用多晶纖維材料，保溫節能。
產品功能及特點：
1、加熱元件采用鹵素燈管加熱，爐膛保溫材料采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節能效果明顯優于國內纖維材料。
2、整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1000℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節能材料制作，整機能耗僅僅只有同等傳統電爐的1/3，節能環保。
4、爐體配有：加熱指示燈，爐子加熱狀態一目了然。
5、超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠具有多重防護功能。
高溫實驗室開啟式RTP快速升降溫管式爐開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發的高性能熱處理設備。本產品采用*制造工藝，造型新穎結構合理，爐體上下兩半設計，可自由打開閉合，安全可靠，爐管外徑100mm，爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高溫保護涂層，既能降低熱量損耗，還能提高爐內溫度穩定性。試驗樣品放置于密封的石英管內，內部潔凈度高，可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域，該系統可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。本產品采用紅外加熱，升溫速度快達30℃/S，爐體下部配有軌道，可左右移動至底部風扇處，以達到快速冷卻的目的。
技術參數：
| 型號 | AS1200-PRT | |
| 溫度控制 | *高溫度點 | 1200℃ |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 穩定狀態溫度范圍 | 200-1050℃ | |
| 溫度測量精度 | ±0.2℃ | |
| 溫度控制重復性 | ±1℃ | |
| 溫度控制**度 | ±1℃ | |
| 溫度均勻性 | ±2℃ | |
| 溫度狀態工藝時間 | 7-32 S（200-1050℃） | |
| *快升溫速率 | 30℃/S（可按需定制） | |
| 降溫速率 | 1-200℃（將試樣移出加熱區域或通氮氣可加快降溫） | |
| 溫度控制模式 | 智能模糊PID全閉環控制 | |
| 觸摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
| 物理指標 | *大功率 | 18 Kw |
| 額定電壓 | AC380V，50/60Hz | |
| 測溫元件型號 | K型熱電偶 | |
| 石英管規格 | Φ100*1500 | |
| 真空度 | 選配分子泵真空度可達4*10-3Pa | |
| 抽氣端口尺寸 | KF25或Φ6mm | |
| 進氣端口尺寸 | Φ6mm | |
| 冷卻方式 | 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） |
